第一熱研真空微氧分析儀/氧氣分析儀
Daiichi Nekken TB-IIVNE Vacuum Trace oxygen analyzer
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| Daiichi Nekken TB-IIV-NE 真空微氧分析儀/氧氣分析儀，利用氧化鋯電極量測氧氣分壓的原理，設計用來量測密閉腔體或真空爐在正壓(2atm)到真空（10-7 Torr)下微量氧氣(ppm Trace Oxygen / 1~10-30 atm Ultra Trace Oxygen)氧氣分壓，也可以量測惰性氣體中的微氧或低氧氧氣濃度。 | |
| 量測範圍可依需求搭配 ① C-28CVE 控制器(適用於0.1ppm-100%範圍量測) ② C-48VE 控制器(適用於10^-30atm-0.1ppm-100%全域範圍量測) ③ C-201W 控制器(適用於1ppm-100%全域範圍量測) |
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| 架構簡單，容易安裝維修。內置過濾器，可延長感測器使用壽命。 | |
| 應用在半導體、面板、生醫產業製程設備上，可直接安裝於密閉腔體或真空烤箱。 也可以應用在工業上烤箱、鍋爐、煅燒熔爐、焚化爐、鋼加熱爐、玻璃熔化爐、陶器粉末冶金 爐、及各種燃燒廢氣。 |
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| 取樣方式：擴散方式。 | |
| 取樣溫度最高可達300℃ |
| 型式 | TB-IIVNE-VF25 | VF25 |
| TB-IIVNE-NW40 | NW40 | |
| TB-IIVNE-NW25 | NW25 | |
| 其它型式法蘭 | 可接受訂製 | |
| 測量範圍 | C-28CVE控制器適用於0.1ppm-100% O2範圍量測。 C-48VE 控制器適用於10^-30atm-0.1ppm-100% O2全域範圍量測。 C-201W控制器適用於1ppm-100% O2全域範圍量測。 |
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| 控制器 | 可搭配C-28CVE控制器或C-48VE控制器 或搭配C-201W控制器 |
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| Linearity 線性度 | 少於±1%FS 或 ±1ppm | |
| Repeatability 再現性 | 少於±1%FS 或 ±1ppm | |
| 反應時間 | 90%應答: 大約10秒以內 (由低濃度到高濃度） | |
| Drift 漂移 | 少於 ±2%FS/week | |
| 安裝方式 | 垂直～水平接於真空腔體法蘭(由客戶準備)上 | |
| 取樣方式 | 擴散方式 | |
| 取樣壓力 | 2 atm ~ 1x10-5 Pa (1x10-7 Torr) | |
| 取樣溫度 | 最高0～300℃ | |
| 暖機時間 | 大約20 分鐘 | |
氧化鋯氧氣分析儀原理 |
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將氧化鋯陶磁加熱後，氧化鋯陶磁會形成電極，氧離子可以穿透氧化鋯陶磁。若是氧化鋯陶磁的內側與外側有不同濃度氣體，在氧化鋯陶磁兩側就會形成電位差。將氧化鋯電極內側接觸空氣當作參考基準，外側接觸待測氣體，就可以經由量測電極內外側電位差來量測氧氣濃度。
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